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等离子式处理设备是在其他处理方式都不可以的情况下采用的一种处理方式，处理的气体一般含氟，如NF3、CF4、 SF6等 特点:电极加热产生的高温分解对象气体，分解后再进行冷却，使排出的气体达到温度和排放要求
