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特种气体采用独立气源，多用点采用 VMB 或 VMP 分路供应， VMB 或 VMP 采用支路气动阀，氮气吹扫，真空辅助排空等。由于 BSGS 气源总量大，多采用独立的气体房，独立的抽风系统。根据客户对于生产的要求不同，气体设备的配置分全自动、半自动、手动形式
VMB是气体供应系统的分配箱，作用是把电子特气从主管路分成多个支路，支路通过二次配管路把电子特气安全、稳定地供应到生产设备。 VMB支路数量可按客户需求定制。
液态特气输送系统LDS专门设计于液态前躯体的输送，如TMA,TEOS等。 LDS系统能实现良好的压力控制、温度控制及载气流量控制，确保安全、稳定、连续地为下游工艺供应前驱体。
GR用于惰性电子特气的输送，可实现稳定、连续的气体供应，盘面吹扫和钢瓶更换时的PN2保护可维持、保障电子特气的纯度和质量。 气瓶架可按客户需求定制，分为自动型和手动型。
大宗特气供应系统（BSGS）为大流量电子特气供应设备，可以安全、稳定、持续不间断地提供超大流量电子特气输送。 设备采用大Cv值阀件，能满足电子特气大流量输送下压力稳定，同时避免气体盘面出现结露、结霜现象；盘面深度吹扫设计能保障电子特气的纯度和质量。
GC是专为可燃性、腐蚀性、毒性等电子特气供应而设计的气体供应设备、用于电子特气安全、稳定输送。 气瓶柜全自动设计可实现电子特气持续不间断地供应；盘面自动吹扫和钢瓶更换时PN2保护可维持和保障电子特气的纯度和质量。
VDB是大宗特气供应系统的一级分流设备，作用是将大宗特气主管路分成若干次级主管路，用于大流量电子特气供应。
用于半导体与LCD微电子太阳能行业特殊气体输送系统，多用于有毒/可燃/腐蚀性和稀有气体。
