BSGS大流量特殊气体供应柜

大宗特气供应系统（BSGS）为大流量电子特气供应设备，可以安全、稳定、持续不间断地提供超大流量电子特气输送。 设备采用大Cv值阀件，能满足电子特气大流量输送下压力稳定，同时避免气体盘面出现结露、结霜现象；盘面深度吹扫设计能保障电子特气的纯度和质量。