BSGS大流量特殊气体供应柜

用于半导体与LCD微电子太阳能行业特殊气体输送系统，多用于有毒/可燃/腐蚀性和稀有气体。 大宗特气供应系统（BSGS）采用全自动 PLC 控制器、彩色触摸屏、气体面板采用气动阀门和压力传感器、可实现自动切换、自动氮气吹扫、自动真空辅助放空、多重安全防护措施、泄漏侦测、远 程紧急切断、专用氮气吹扫起源等等。