VMB：阀门分流箱

用于半导体与LCD微电子太阳能行业特殊气体输送系统，多用于有毒/可燃/腐蚀性和稀有气体。 阀门分流盘多用点时，气体还需经过 VMB 或 VMP 分路供应。用户根据工艺要求对分流数和分流压力流量进行设定。气体在分流箱上进行调节后达到工艺设备对气体的精确要求后再分流到各用气点。