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以“为客户提供稳定可靠智能的工艺系统”为企业愿景,致力于电子、半导体、新能源及医药等先进的制造业领域
吸附式处理设备利用吸附剂的范德华力来吸附有害气体,把无毒无害气体排放于大气的设备。可以吸附的有害气体有BCL3、CL2、AsH3、 NH3等 特点:化学树脂使用寿命长;维护简便;采用防腐材料与技术;更换树脂操作简便;筒末端装有颜色指示标签
加热水洗式处理设备处理一些易燃易分解、且分解后的产物易溶于水的气体,如PH3、B2H6、NH3等
燃烧水洗式处理设备处理一些自燃、易燃易爆的气体,如SiH4、H2、PH3等
加热水洗式处理设备处理一些易燃易分解、且分解后的产物易溶于水的气体,如PH3、B2H6、 NH3等 特点:无粉尘积聚问题;维护简便;采用防腐蚀材料与技术;
加热水洗式处理设备处理一些易燃易分解、且分解后的产物易溶于水的气体,如PH3、B2H6、 NH3等。 特点:无粉尘积聚问题;维护简便;采用防腐蚀材料与技术;
等离子式处理设备是在其他处理方式都不可以的情况下采用的一种处理方式,处理的气体一般含氟,如NF3、CF4、 SF6等 特点:电极加热产生的高温分解对象气体,分解后再进行冷却,使排出的气体达到温度和排放要求