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特种气体采用独立气源，多用点采用 VMB 或 VMP 分路供应， VMB 或 VMP 采用支路气动阀，氮气吹扫，真空辅助排空等。由于 BSGS 气源总量大，多采用独立的气体房，独立的抽风系统。根据客户对于生产的要求不同，气体设备的配置分全自动、半自动、手动形式
用于半导体与LCD微电子太阳能行业特殊气体输送系统，多用于有毒/可燃/腐蚀性和稀有气体。 阀门分流盘多用点时，气体还需经过 VMB 或 VMP 分路供应。用户根据工艺要求对分流数和分流压力流量进行设定。气体在分流箱上进行调节后达到工艺设备对气体的精确要求后再分流到各用气点。
用于半导体与LCD微电子太阳能行业特殊气体输送系统。常温下无色透明液体。空气中自燃，瞬间就能着 火。与水反应激烈，即使在冷水中也能产生爆炸性分解反应，并生成甲烷接触皮肤能引起组织破坏和烧 伤。在空气中自燃时发出对人体有害的氧化铝烟雾，这种烟雾能刺激和腐蚀眼、皮肤和呼吸道粘膜，人吸 入后气管和肺受损伤，严重时能引起肺水肿。
气瓶架适用于无危险性气体，包括惰性气体和氧化性气 体。 主体全部采用烤漆不锈钢材质，附带金属钢瓶固定支架、链条。 主体阀门管件主要采用SUS 316材质不锈钢，抗压、耐腐蚀性、超纯度保证。 主体阀门管件全部来自国际一线品牌。 手动排空。 手动切换钢瓶供气模式。 盘面100%经过He检漏。
用于半导体与LCD微电子太阳能行业特殊气体输送系统，多用于有毒/可燃/腐蚀性和稀有气体。 大宗特气供应系统（BSGS）采用全自动 PLC 控制器、彩色触摸屏、气体面板采用气动阀门和压力传感器、可实现自动切换、自动氮气吹扫、自动真空辅助放空、多重安全防护措施、泄漏侦测、远 程紧急切断、专用氮气吹扫起源等等。
用于半导体与LCD微电子太阳能行业特殊气体输送系统， 多用于有毒/可燃/腐蚀性和稀有气体。 气柜的设计主要是为了安全存储和操作高纯剧毒、可燃、 自燃、腐蚀性、氧化性、易反应的钢瓶气体。 气柜配置了2.6毫米的钢板柜体并在表面涂有抗腐蚀涂料。 同时可视窗口采用钢丝网安全玻璃窗组装而成。同时根据 气体的危险性质,可配置其它安全部件(过流信号开关/红外 紫外火焰探测器/高温探头/消防水等)
气柜的设计主要是为了安全存储和操作高纯剧毒、可燃、自燃、腐蚀性、氧化性、易反应的钢瓶气体。
用于半导体与LCD微电子太阳能行业特殊气体输送系统，多用于有毒/可燃/腐蚀性和稀有气体。
